1.四氟化碳可由碳和氟反應(yīng)、一氧化碳和氟反應(yīng)、碳化硅和氟反應(yīng)、氟石氟二氯甲烷和氟化氫、四氯化碳和氟化銀、四氯化碳和氟化氫產(chǎn)生。氫氧化鉻在高溫鎳管中填充四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)。通過水洗和堿洗去酸性氣體，然后冷凍，用硅膠去除氣體中的水分，最后蒸餾成品。

　　2.提前稱5~10g碳化硅粉和0.1g將單質(zhì)硅粉放入鎳盤中，使硅與碳化硅充分接觸后，將鎳盤放入蒙乃爾合金反應(yīng)管中，將氟氣放入反應(yīng)管中。氟首先與單質(zhì)硅反應(yīng)。加熱后，氟開始與碳化硅反應(yīng)，通過等量的干氮稀釋氟，繼續(xù)反應(yīng)，通過液氮冷卻產(chǎn)生的鎳捕集器冷凝氣體，然后慢慢氣化，用氫氧化鈉溶液去除四氟化硅，然后通過硅和五氧化二磷干燥塔獲得最終產(chǎn)品。

　　3.以活性炭和氟為原料制備氟化反應(yīng)。在裝有活性炭的反應(yīng)爐中，通過加熱器加熱、氟化速率和反應(yīng)爐冷卻，慢慢進(jìn)入高氟氣體，控制反應(yīng)溫度。產(chǎn)品經(jīng)過除塵和堿洗滌HF、CoF2、SiF4、CO二等雜質(zhì)，再脫水可獲得含量約85%的粗品。通過控制蒸餾溫度，將粗品引入低溫蒸餾器進(jìn)行間歇性蒸餾，去除粗品O2、N2、H2，得到高純CF4。